Gallgemeine Einführung

Herch Optos faseroptischer GG-Verstärker mit Temperaturmessung; Das Überwachungssystem kann eine Vielzahl von hochmodernen Halbleiterprozessen unterstützen.

Die auf Fluoreszenz basierenden faseroptischen Temperatursensoren wurden speziell entwickelt, um eine hohe Genauigkeit, Präzision und Langzeitstabilität in rauen Umgebungen aufrechtzuerhalten. Diese Sensoren sind immun gegen elektromagnetische Störungen, was sie ideal für die hochgenaue Temperaturüberwachung bei Plasmaätz- und plasmaunterstützten Abscheidungsprozessen macht.

Sie können verwendet werden, um die Temperatur zahlreicher Komponenten sowohl im kontaktbehafteten als auch im berührungslosen optischen Temperaturerfassungs-GG-Verstärker zu messen. Steuerung wie elektrostatische Spannfutter und Kantenringe in der Prozesskammer, die die Temperatursteuerung und Gleichmäßigkeit ermöglichen, die für die Herstellung von hochmodernen Halbleitern erforderlich sind.

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